Микроэлектромеханическая система, или МЭМС, представляет собой миниатюрное устройство или машину, которая изготовлена как из механических, так и из электрических компонентов, используя методы микрообработки.
Термин «МЭМС» часто используется для описания как категории микромехатронных систем, так и технологического процесса, используемого для их изготовления. Некоторые МЭМС не имеют механических компонентов, но поскольку они преобразуют определенные механические сигналы в электрические или оптические, они классифицируются как МЭМС.
More Stories
Microsoft представила платформу виртуальной реальности Mesh
Для поддержки IT: Россия готовит налог для Google и Facebook
Срочно качайте патч: в системах Microsoft выявлены опасные уязвимости